曝光剂量：关键在数字

曝光是光刻工序必不可少的环节，由光刻机来完成。而曝光剂量是曝光环节的重要参数，决定着光刻胶的交联程度，进而影响图案，以及影响整个芯片制程。那么曝光剂量是如何控制的？...

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